詳細(xì)說明
龍門架位平臺:標(biāo)準(zhǔn)
藉由各種標(biāo)準(zhǔn)單軸定位平臺的堆棧組合,可構(gòu)成許多不同行程及功能的標(biāo)準(zhǔn)龍門架構(gòu)定位定位平臺,能有效縮短產(chǎn)品開發(fā)時程并且大量生產(chǎn),此類型定位平臺常應(yīng)用于光電組件、面板顯示、醫(yī)療器材產(chǎn)業(yè)等。
· 光學(xué)檢測運用
· 高剛性的鋁制龍門架構(gòu)
· 無鐵心式線性馬達(dá)
微細(xì)加工到大工件的加工
適用于以雷射或刀具實施之微細(xì)結(jié)構(gòu)的加工,充分利用了小型龍
門結(jié)構(gòu)的特性,同樣提供了合理價格的解決方案。
采用運動特性平順的LMC系列線性馬達(dá)
重現(xiàn)性士2μm
經(jīng)過大量實際應(yīng)用的考驗
實際案例
合理價格的取放及檢測用龍門定位系統(tǒng)
XY龍門架構(gòu)使得許多應(yīng)用得以更低的成本來實現(xiàn),以標(biāo)準(zhǔn)元件
構(gòu)筑而成的龍門定位平臺。
采用LMX1L系列的定位軸
重現(xiàn)性土2μm
可提供含底座
平面馬達(dá)
平面伺服馬達(dá)提供了一個最佳的檢測定位解決方案,比方說,印
刷電路板PC B的檢測, 在馬達(dá)可動部,上裝置C CD鏡頭拍攝板子上
的印刷電路是否完整及SMD元件。
由于使用非接觸式空氣軸承,幾乎沒有磨耗
在整個平面上可以達(dá)到很好的平面度(最大1000mm平方)
重現(xiàn)性士3μm
高等級的晶圓質(zhì)量管制、光罩制作
晶圓表面的管制以及晶圓或玻璃面板的光罩通常需要探用空
氣軸承式的XY平臺, 以檢測出極微小的缺陷或制出高精度
的光罩。例如電子業(yè),芯片工業(yè)以及平面顯示器業(yè)里面都采
用這種方式。
平面度土2μm
重現(xiàn)性士0.5μm
精度士1.5μm
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